1、非晶態(tài)合金傳感器
非晶態(tài)合金是70年代末發(fā)展起來的一種新型材料,具有非常*的微觀結(jié)構(gòu),其原子排列無規(guī)則,即長程無序;而鄰近原子的數(shù)目和排列有規(guī)則,即短程有序;它沒有晶態(tài)合金中常見的晶界缺陷,但整體上又有很高的缺陷密度,達10/以上。這種結(jié)構(gòu)使得非晶態(tài)合金具有許多優(yōu)異特性,而成為新一代功能材料,在電子、電力和機械等領(lǐng)域得到日益廣泛的應(yīng)用。
2、固態(tài)圖象傳感器(CCD)
其工作過程是:首先由光學(xué)系統(tǒng)將被測物體成象在CCD的受光面上,受光面下的許多光敏單元形成了許多象素點,這些象素點將投射到它的光強轉(zhuǎn)換成電荷信號并存儲。然后在時鐘脈沖信號控制下,將反映光象的被存儲的電荷信號讀取并順序輸出,從而完成了從光圖象到電信號的轉(zhuǎn)化過程。CCD傳感器由MOS電容組成,金屬和Si襯底是電容器兩極,SiO2為介質(zhì)。在金屬柵上加正向電壓UG,Si中的電子被吸引到襯底和SiO2的交界面上,空穴被排斥,于是在電極下形成一個表面帶負(fù)電荷的耗盡區(qū)。
3、光纖傳感器
光纖傳感器以光學(xué)量轉(zhuǎn)換為基礎(chǔ),以光信號為變換和傳輸?shù)妮d體,利用光導(dǎo)纖維輸送光信號的傳感器。按光纖的作用,光纖傳感器可分為功能型和傳光型兩種。功能型光纖傳感器既起著傳輸光信號作用,又可作敏感元件;傳光型光纖則僅起傳輸光信號作用。
4、智能傳感器
到目前為止,還尚未有統(tǒng)一的智能傳感器定義。一般認(rèn)為:傳感器與微處理器結(jié)合并賦予人工智能的功能,又兼有信息檢測與信息處理功能的傳感器就是智能傳感器。